TLMG-400提供大范围多组件雕刻,可同时加工多个组件,提升稼动率。旋转角度自动补正,解决个别组件旋转角度误差。拥有可扩充设备前端模块(EFEM),含SECS/GEM功能。另有雷射功率实时监控功能,维持雕刻质量的稳定性。
项目 |
TLMG-400 |
加工轴数 |
1 |
雷射形式 |
Nd: YVO4 绿光雷射 |
波长 |
532 nm |
最大平均功率 |
>5 W @80kHz |
激光脉冲频率 |
Single shot~300 kHz |
脉冲宽度 |
<8 ns @80kHz |
X-Y最大加工范围 |
300×300 mm |
X-Y移动速度 |
50 m/min |
Galvano扫瞄范围 |
160×160 mm |