TLMG-400提供大范围多组件雕刻,可同时加工多个组件,提升稼动率。旋转角度自动补正,解决个别组件旋转角度误差。拥有可扩充设备前端模块(EFEM),含SECS/GEM功能。另有雷射功率实时监控功能,维持雕刻质量的稳定性。
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			 项目  | 
			
			 TLMG-400  | 
		
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			 加工轴数  | 
			
			 1  | 
		
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			 雷射形式  | 
			
			 Nd: YVO4 绿光雷射  | 
		
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			 波长  | 
			
			 532 nm  | 
		
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			 最大平均功率  | 
			
			 >5 W @80kHz  | 
		
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			 激光脉冲频率  | 
			
			 Single shot~300 kHz  | 
		
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			 脉冲宽度  | 
			
			 <8 ns @80kHz  | 
		
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			 X-Y最大加工范围  | 
			
			 300×300 mm  | 
		
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			 X-Y移动速度  | 
			
			 50 m/min  | 
		
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			 Galvano扫瞄范围  | 
			
			 160×160 mm  |