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TLMG-400

半导体雷射加工设备

绿光雷射雕刻机TLMG-400

TLMG-400提供大范围多组件雕刻,可同时加工多个组件,提升稼动率。旋转角度自动补正,解决个别组件旋转角度误差。拥有可扩充设备前端模块(EFEM),含SECS/GEM功能。另有雷射功率实时监控功能,维持雕刻质量的稳定性。


规格参数

项目

TLMG-400

加工轴数

1

雷射形式

Nd: YVO4 绿光雷射

波长

532 nm

最大平均功率

>5 W @80kHz

激光脉冲频率

Single shot~300 kHz

脉冲宽度

<8 ns @80kHz

X-Y最大加工范围

300×300 mm

X-Y移动速度

50 m/min

Galvano扫瞄范围

160×160 mm

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