技术概述

透过刀具的高频率振动(15~45kHz)及最高 24,000rpm 之转动速度，形成一

种结合研磨以及冲击破坏材料加工技术，可轻易加工高硬度以及脆性材料， 同时也可降低 30~70%刀具/磨棒接触材料时所产生的切削应力（依据材质而 有所不同），因而提升刀具寿命和表面质量。

减少硬脆材料加工碎边

透过超音波辅助加工技术，可以轻易的加工硬脆材料，减少碎边现象，提升表面质量。

增加刀具寿命

因为减少了切削阻抗，刀具寿命也随之增加。以 0.5mm 硅晶圆微细钻孔为例，刀具直径ø0.5mm，刀具长度10mm，刀具寿命由 3 孔大幅提升到 236 孔。

表面质量优异

透过超音波辅助加工，提升表面质量稳并于表面粗糙度 Ra 0.2 μm，可减少抛光制程。

超音波控制技术

绝佳的超音波控制技术，可以确保长时间加工稳定性。透过本机控制器上 M-code 操作，可轻松进行超音波开关、自动扫频、频率选择，以及功率调整等动作。

BBT刀具系统

采用 BBT 刀具系统，先以标准刀具进行粗加工再以超音波刀把进行精加工，可大幅提升加工效率。

产业应用

可运用在医疗产业、模具产业、精密陶瓷产业、玻璃产业、汽车及航天产业。