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TLMG-400

半導體雷射加工設備

綠光雷射雕刻機TLMG-400

TLMG-400提供大範圍多元件雕刻,可同時加工多個元件,提升稼動率。旋轉角度自動補正,解決個別元件旋轉角度誤差。擁有可擴充設備前端模組(EFEM),含SECS/GEM功能。另有雷射功率即時監控功能,維持雕刻品質的穩定性。


產品規格

項目

TLMG-400

加工軸數

1

雷射形式

Nd: YVO4 綠光雷射

波長

532 nm

最大平均功率

>5 W @80kHz

雷射脈衝頻率

Single shot~300 kHz

脈衝寬度

<8 ns @80kHz

X-Y最大加工範圍

300×300 mm

X-Y移動速度

50 m/min

Galvano掃瞄範圍

160×160 mm

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