TLMG-400提供大範圍多元件雕刻,可同時加工多個元件,提升稼動率。旋轉角度自動補正,解決個別元件旋轉角度誤差。擁有可擴充設備前端模組(EFEM),含SECS/GEM功能。另有雷射功率即時監控功能,維持雕刻品質的穩定性。
項目 |
TLMG-400 |
加工軸數 |
1 |
雷射形式 |
Nd: YVO4 綠光雷射 |
波長 |
532 nm |
最大平均功率 |
>5 W @80kHz |
雷射脈衝頻率 |
Single shot~300 kHz |
脈衝寬度 |
<8 ns @80kHz |
X-Y最大加工範圍 |
300×300 mm |
X-Y移動速度 |
50 m/min |
Galvano掃瞄範圍 |
160×160 mm |