1. 提供大范围多组件雕刻,可同时加工多个组件,提升稼动率。旋转角度自动补正,解决个别组件旋转角度误差。
2. 拥有可扩充设备前端模块(EFEM),含SECS/GEM功能。
3. 另有雷射功率实时监控功能,维持雕刻质量的稳定性。
项目 |
单位 |
TLMU-400 |
雷射型形式 |
|
UV雷射 |
雷射功率 |
W/kHz |
20W @ 100kHz |
操作频率 |
kHz |
0~250 |
扫瞄范围 |
mm |
45x45 |
工作范围 |
mm |
400x400 |
XY轴移动速度 |
m/min |
50m/min |
空压 |
kg/cm2 |
6~7 |
空气消耗量 |
L/min |
<800 |
机械尺寸 |
mm |
1540x1260x1880 |
控制器 |
|
PC Based |