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TLMU-400

雷射加工設備

紫光雷射雕刻機TLMU-400

1. 提供大範圍多元件雕刻,可同時加工多個元件,提升稼動率。旋轉角度自動補正,解決個別元件旋轉角度誤差。

2. 擁有可擴充設備前端模組(EFEM),含SECS/GEM功能。

3. 另有雷射功率即時監控功能,維持雕刻品質的穩定性。


產品規格

項目 單位 TLMU-400
雷射型形式   UV雷射
雷射功率 W/kHz 20W @ 100kHz
操作頻率 kHz 0~250
掃瞄範圍 mm 45x45
工作範圍 mm 400x400
XY軸移動速度 m/min 50m/min
空壓 kg/cm2 6~7
空氣消耗量 L/min <800
機械尺寸 mm 1540x1260x1880
控制器   PC Based

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