1. 提供大範圍多元件雕刻,可同時加工多個元件,提升稼動率。旋轉角度自動補正,解決個別元件旋轉角度誤差。
2. 擁有可擴充設備前端模組(EFEM),含SECS/GEM功能。
3. 另有雷射功率即時監控功能,維持雕刻品質的穩定性。
項目 | 單位 | TLMU-400 |
雷射型形式 | UV雷射 | |
雷射功率 | W/kHz | 20W @ 100kHz |
操作頻率 | kHz | 0~250 |
掃瞄範圍 | mm | 45x45 |
工作範圍 | mm | 400x400 |
XY軸移動速度 | m/min | 50m/min |
空壓 | kg/cm2 | 6~7 |
空氣消耗量 | L/min | <800 |
機械尺寸 | mm | 1540x1260x1880 |
控制器 | PC Based |