超音波補助加工技術

工具の高周波数振動（15～45kHz）と最高24,000rpmの回転速度によって、材料の研磨と衝撃破壊加工技術を融合、高硬度や脆性の材料を容易に加工、。工具に生じる切削応力を30～70%低減することができ、工具寿命と加工面品質が向上。

回転速度は24,000 rpmに達する

切削応力が大幅に低下

超音波補助加工技術により、硬脆性材料の加工も容易で歩留まりを向上。

ガラス等硬脆性材料の加工

輪郭加工でも縁が崩れない

切削抵抗の減少により、工具寿命を延長。0.5mmシリコンウエハ微細穴加工実績では、加工穴数は3穴から236穴と大幅に向上。

0.5mmシリコンウエハ微細穴

超音波加工用バイト

超音波補助加工により、表面粗さはRa 0.2 μmを実現、後工程の研磨プロセスを短縮／省略可能。

アルミ合金表面加工の紋様の細やかさ

アルミ合金精密加工Ra 0.2 μm

最適な超音波制御技術で長時間の加工安定性を確保。本機のNC装置に設定されるMコードでの操作により、超音波のオン／オフ、自動周波数スキャン、周波数選択、出力調整と超音波スイッチなどの操作が簡単に実行可能。

自動周波数スキャン

二面拘束（BBT）システムを採用、標準工具で荒加工を行ってから超音波工具で仕上げ加工を行うことで、加工効率を大幅に向上できます。

スタンダードバイトを使用可能

医療産業、金型産業、精密セラミック産業、ガラス産業、自動車と航空宇宙産業に応用できます。

生物医学

精密セラミック

ガラス、宝石加工

自動車産業仕上げ加工

航空宇宙産業表面仕上げ加工

金型産業表面仕上げ加工

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