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TLMG-400

半導體雷射加工設備

綠光雷射雕刻機

TLMG-400提供大範圍多元件雕刻,可同時加工多個元件,提升稼動率。旋轉角度自動補正,解決個別元件旋轉角度誤差。擁有可擴充設備前端模組(EFEM),含SECS/GEM功能。另有雷射功率即時監控功能,維持雕刻品質的穩定性。


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